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二次離子質譜儀／Secondary Ion Mass Spectrometer

二次離子質譜儀是利用帶有特定能量的聚焦離子束撞擊在真空下的固態樣品，使表面的物質脫離樣品表面且離子化後，經由電場引導至質譜儀進行分析，以獲得不同質荷比(M/Z) ...

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