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二次離子質譜儀(SIMS) - MA-tek 閎康科技

Backside SIMS相較於一般由晶片正面進行分析的方式，藉由試片製備技術，由晶背分析能減少因入射離子束所造成的植入及撞入效應與金屬表面粗糙效應，因而更能真實呈現金屬 ...

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