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二次离子质谱分析仪(SIMS) - 芯片测试与失效分析 - 电子发烧友 ...

二次离子质谱分析仪(SIMS)二次离子质谱分析仪(Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)主要是利用离子高灵敏度的 ... 高纵深分辨率：小于2nm/decade

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