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sims縱深分析
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飛行時間二次離子質譜儀的原理與應用 - 台灣儀器科技研究中心
不利於淺層縱深分析,在分析前需先選定特定離子. 監測,較適合應用於已知結構及需分析深度較深的. 樣品。TOF-SIMS 具有高的離子傳輸率(> 50%),.
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