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Implant SIMS笔记(离子注入机二次离子质谱笔记) - 智于博客

掺杂纵深分析：可准确地将P-N接面深度(或称结深)与掺杂浓度分布描绘出来。最常见的应用为离子植入与植入剂量的分析、发光二极体掺杂浓度与分布分析， ...

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