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GCIB-TOF-SIMS

表面汙染薄膜中的添加劑分析. 有機薄膜中的組成分布解析 ... 此面再經由TOF-SIMS. 測定, 即能正確掌握汙染前的薄膜表面狀態。 ... Ar-GCIB 縱深剖析. Cs單原子縱深剖析.

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