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二次イオン質量分析法 －TOF-SIMS法の紹介－ ｜SI NEWS

原理 的には、イオンビームを固体試料に照射して、表面から発生する二次イオンを質量分析するものであるが、 質量分析計の方式により、扇型の電場と磁場を組み合わせた ...

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