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表征掺杂浓度的近似含量- 二次离子质谱(SIMS) - 科学指南针

其原理是带有几千电子伏的能量的一次离子束入射样品表面。 在做作用区域发出不同粒子，包括二次电子，中性微粒、二次离子、反射离子等，如下图1 ...

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