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MST｜［SIMS］二次イオン質量分析法

飛び出してきた粒子のうちイオン(二次イオン)を質量分析することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行います。 原理. データ例. 濃度（atoms/cm 3 ） ：1立方cmあたりの ...

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