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飞行时间二次离子质谱－强有力的表面、界面和薄膜分析手段

二次离子质谱（Secondary ion mass spectrometry，简称SIMS）是一种对表面灵敏的质谱技术，建立在表面各 ... 本文简述了TOF-SIMS的原理、仪器及其多方面的应用和展望。

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