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二次イオン質量分析(SIMS) | 株式会社東レリサーチセンター

二次イオン質量分析(SIMS) (Secondary Ion Mass Spectrometry：SIMS). 原理. イオン(通常はCs + またはO2 + )を固体表面に照射すると、スパッタリング(試料構成原子が真空 ...

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