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電子工程學系電子研究所碩士班 - 國立交通大學機構典藏

KFM 為掃描探針技術，可進. 行二維平面掃描，具有非破壞性及高解析度的優點，且其利用測量表面電. 位得知載子濃度的方式亦與SIMS 測量雜質元素濃度的原理有所不同. [18]。

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