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二次離子質譜- 維基百科,自由的百科全書
它的原理除了採用離子槍轟擊激發以外,其餘與質譜儀完全相同。SIMS一般採用四極質譜計,因為它結構簡單,而且體積較小。但是它檢測的相對分子質量範圍僅限於幾千以下。
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