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二次離子質譜儀SIMS
利用質譜法分析由一定能量的一次離子轟擊在樣品靶上濺射產生的正、負二次離子。 二次離子質譜儀工作原理: 一定能量的離子轟擊固體表面引起表面原子、 ...
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