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sims分析原理
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https://doi.wanfangdata.com.cn/10.3969/j.issn.1004-2997.2004.02.013
二次离子质谱(SIMS)分析技术及应用进展 - 万方
二次离子质谱(SIMS)比其他表面微区分析方法更灵敏.由于应用了中性原子、液态金属离子、多原子离子和激光一次束,后电离技术,离子反射型飞行时间质量分析器,离子延迟探测 ...
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