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選擇適當表面分析儀器抓出製程汙染缺陷 - DigiTimes

宜特發現，在尋找製程汙染缺陷上，建議選擇原子力顯微鏡(AFM)，其原理 ... 待測樣品區域需大於100um，厚度需要大於100nm以上才適合SIMS定量的分析。

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