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二次離子質譜儀/Secondary Ion Mass Spectrometer
二次離子質譜儀是材料分析中極靈敏的分析機台,偵測極限可達ppm,特定元素甚至可達ppb,具奈米縱深分析解析度,且周期表內的元素皆可分析,同時具備鑑別同位素的能力,由於 ...
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