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TOF-SIMSによる材料表面の有機物の分析 - 豊田中央研究所

2．1 TOF-SIMSの原理. 一次イオンを高真空中で試料の表面に照射する. と，表面を構成する分子の一部がイオン化され，. 二次イオンとして放出される。これを質量分析 ...

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