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二次离子质谱（SIMS）的介绍- 产品讯息- 资讯 - 中实仪信网

2 SIMS的基本原理. 离子探针的原理是利用能量为1～20KeV的离子束照射在固体表面上，激发出正、负离子（溅射），利用质谱仪对这些离子进行分析，测量 ...

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