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二次离子质谱仪|产品百科_化工仪器网
二次离子质谱仪(SIMS)用高能电离轰击样品表面,这导致样品表面上的原子或原子团吸收能量并通过溅射产生二次粒子。这些带电粒子通过质量分析器后, ...
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