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二次离子质谱仪（SIMS）分析技术及其在半导体产业中的应用

昌鹏. 摘 要：二次离子质谱仪（SIMS）是一种成熟的应用广泛的表面分析技术，具有高灵敏度（ppm-ppb）和高分辨率。本文介绍了SIMS基本原理和分类及其在 ...

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