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二次离子质谱SIMS对半导体元素掺杂浓度的分析 - 网易

SIMS 全称二次离子质谱（SecondIonMassSpectroscopy），是一种前沿的表面分析技术，原理是通过利用一次离子束不断地轰击靶材，使靶材表面的原子层出现 ...

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