‧ 分析薄膜成分與結構、材料表面成分、元素縱深分佈圖(Depth Profile) ‧ 可分析同位素. ‧ 元素縱深解析度較好. ‧ 1µm以上薄膜縱深分析較快. 二次離子質譜(SIMS). 二次 ...
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