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摻雜砷柴氏法生長單晶矽之雜質傳輸數值分析

繁體中文;英文. 砷摻雜於矽熔湯 ； 摻雜技術 ； 矽晶體 ； Arsenic doped-silicon melt ； Doping technique ； Silicon crystal ； Silicon crystal.

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