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低介電常數材料應用於多層導體連線之電特性分析 - 國立交通 ...

關鍵字: 低介電常數材料;碳化矽;多孔隙;微帶線;晶圓回收;電特性不穩定;low dielectric constant materials;SiC;porous;micro-stripline;wafer reclaim;Electrical ...

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