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碳化矽晶圓複合加工技術

曾經的「中流. 砥柱」Si 功率元件已漸趨其材料發展的極限，難以. 滿足當今社會發展對於高頻、高溫、高功率、高能. 效、耐惡劣環境以及輕便小型化的新需求。碳化矽. (SiC)因 ...

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