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碳化矽塗層於LED與半導體產業之應用 - 材料世界網

而SiC鍍膜石墨盤為磊晶製程主要耗材，價格昂貴。如何建立SiC鍍膜石墨盤的製程技術、有效降低LED的成本，已是促進LED產業競爭力的重要關鍵。 台灣在LED ...

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