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應用奈米多孔矽緩衝層在矽基板上研製碳化矽紫外光感測器

碳化矽 (SiC)由於具有許多良好的特性，包括寬能隙、高電子移動率、高飽和速率與良好 ... 所以吾人將利用奈米多孔矽之特殊的海綿狀結構的優點，克服了碳化矽與矽兩者材料 ...

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