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單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用

碳化矽 (silicon carbide, SiC) 屬於較矽、鍺等半 ... 製成之微電子及微感測元件，以了解單晶碳化矽之實用價值。 ... 由於碳化矽具有較矽更多的優點，因此有許多.

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