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第十章介電質薄膜SiO , Si N

Si. R'. R. H. H. O. O. R = CH3, R' = R or OH. RnSi(OH)4-n, n = 1, 2. 矽氧烷. 12. 自旋塗佈矽玻璃製程步驟. PECVD USG. 阻擋層. 自旋塗佈矽.

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