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射頻濺鍍機之製程與設備初步技術實習

平面二極式濺鍍機的優點是，構造簡單，可沉積多層膜，耐火的（refractory） ... (5) SHUT DOWN：於自動排氣模式下，自動進行關機之動作關閉所有閥門及停.

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