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Ch7 Plasma

電漿蝕刻反應室的示意圖. 晶圓. 製程氣體. Plasma. 反應室. 副產品被真. 空幫浦抽走. 夾盤. 射頻功率. 晶圓背端冷卻. 用氦氣. 磁場線圈. • Shower head:.

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