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中国半导体卡脖子的源头之一：设备零部件

此外，各种阀门（Valve）、吸盘（Chuck）、反应腔喷淋头（Shower Head）、边缘环（Edge Ring）等零部件的采购占比也比较高。 2020年中国晶圆厂商采购的8-12吋晶圆设备零 ...

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