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慶康科技股份有限公司-半導體製程設備關鍵零組件 - 建築世界

美商應用材料為慶康科技的法人股東，慶康科技現在主要的零組件業務為suscepter, heater, shower head, collimator, CMP retaining ring, Yttrium oxide coated parts。

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