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FSE PECVD简介110308 - 百度文库

(1)雙層千孔傘狀showerhead，薄膜均勻度與國外大廠規格一致(2)機台本體體積 ... 成功切入半導體UBM封裝市場，並得到飛信半導體Inter-Back設備第一份訂單增加CVD事業部, ...

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