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變更電漿輔助化學氣相沈積零組件驗證鍍膜製程技術

摘要. 本研究技術目的為達成驗證本土開發零組件鍍膜，協助資源發展光電半導體設備零組件，規劃以. 變更電漿輔助化學氣相沈積Shower Head，建立光電半導體用零組件 ...

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