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晶圓量測器 - 和淞科技

用以量測的晶圓與shower head、靶材或電擊的間距差距，更精確的控制薄膜製程，如化學 ... 以輕薄化設計的第二代ALS可被傳送進半導體製程設備中，即時提供晶圓在設備內 ...

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