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半导体设备零部件国产化加速开启千亿新蓝海_行业研究 - 新浪

国产化率超过10%的零部件主要以石英件(Quartz)、气体喷淋头(Shower head)、边缘环(Edge ring)等机械类部件为主:泵(Pump)、陶瓷件(Ceramics)等国产化率 ...

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