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十二吋電漿機臺之高效節能氣體擴散盤開發

成為半導體及相關科技產業之製程設備、零組件的主要供應商. 計畫緣起. 本計畫整合分析、設計、製造十二吋電漿機臺 ... 盤(Shower Head)之領導廠商,雖累積有許多經驗,然.

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