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半導體製程技術 - 聯合大學
電子首先到達電極和反應室牆邊. • 電極帶負電,排斥電子,吸引離子. • 靠近表面部分的電荷差異形成鞘極電位. • 鞘極(sheath) 電位差會加速離子朝向電極移動,並造成.
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