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利用PZT圖形定義提升封閉式壓電麥克風感測靈敏度 - Airiti ...

利用PZT圖形定義提升封閉式壓電麥克風感測靈敏度. Improve Sensitivity of MEMS Piezoelectric Clamped Microphone Utilizing Patterned PZT Structure.

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