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先進製程導入逾百項節能設計!台積電打造綠色供應鏈 - 數位時代
鼎佳能源董事長閻明宇表示,該系統已取得SEMI S2(半導體製造設備安全衛生及環保標準)認證,性能與安全性通過檢驗後,足以應用於最嚴格的半導體廠中;但傳統氫氣純化 ...
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