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半导体设备通讯标准介绍(二) SECS/GEM开发

扩展支持SEMI E39、E40、E87、E90、E94、E116、E142 . 支持多开发语言C、C++、C#、Labview、QT。 . 可选PLC与MES的软件桥接模块，无需开发。

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