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可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

国家标准《半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化 ... 本标准修改采用其他国际标准：SEMI E10-0304:2004。

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