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L22 高速量產型光學曝光系統注意事項

✓ 248 製程規定：. • 目前248曝光機僅能接受厚度725+/-20um 的整片矽晶圓進入曝光使用，破片不允許進入。 • 需有Notch，且需符合SEMI規範。 • 如有特殊 ...

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