1,詳細規格可參考美國防火協會(NFPA)、 國際半導體設備材料產業協會. (SEMI)S2 與S18 技術規範,另矽甲烷氣瓶櫃應要裝設火焰偵測器且一般要有FM. (Factory Mutual) 保險 ...
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