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半导体行业SEMI F47 测试

电压瞬降通常是指负载端电压值降. 到额定电压值的90%以下，并持续0.5~60 个周期，而SEMI F47 是半. 导体制程设备电压暂降抗扰度规范。在SEMI F47-0706 中，以50Hz. 为例 ...

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