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SEMI EDA/介面A標準概要

工廠利用EDA收集來自設備的特定資料，然後分析這些資料以決定如何最佳地提高生產力、改善品質及降低成本。 EDA並不取代SEMI GEM/SECS標準(E4、E5、E30及E37)或者SEMI ...

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