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電化學快速薄化碳化矽基板__臺灣博碩士論文知識加值系統
... 蝕刻區域因側切現象產生分層並產生薄膜,本研究為觀察不同電流下的蝕刻速率差異與蝕刻後所產生之薄膜的關係。並藉由穿透式與掃描式電子顯微鏡(TEM & SEM)觀察薄膜 ...
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