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SEM掃瞄式電子顯微鏡檢測-北科大奈米光電磁中心

真空裝置用以保障顯微鏡內的真空狀態，這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向。 樣品架。樣品可以穩定地放在樣本架上。此外往往還有可以用來改變樣品（如移動、轉動、加熱 ...

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